Semiconductor / Display

MCT(Mask Cassette Tranfer)

천장에 설치되어 Mask Cassette를 증착기에 투입 이송하는 장치

증착기 상부에서 Cassette를 언로딩하여 증착기에 투입하는 유닛
OHS에 적재되어 오는 Cassette를 별도의 Forking system을 이용하여 언로딩
자체 개발한 분진방지용 Z축 볼스크류 로봇을 이용하여 증착기 내에 이물없이 이송하는 기술 보유
CAU(Cassette Align Unit)

Cassette를 전방향으로 정렬해주는 시스템

Cassette 얼라인 장치
별도 개발한 얼라인 장치를 이용하여 X,Y,Z 전방향 대응 가능
CST 검사 PORT

Cassette를 검사하는 시스템

신규 제작된 Cassette 검사 장비
Cassette 투입 후 각 언로딩 구역별 센서로 조립위치 검사 가능
FTE

고하중의 Mask Cassette를 핸들링하는 특수제작 로보트

Cassette Fork unit
OHS 및 Stacker Crane등과 연계하여 물류방향 전환 가능
Up/Down , Rotation 등 다양한 포지션에서 적재하여 전방향 물류방향 전환 가능
RACK MASTER

카세트를 보관하는 스토커에서 카세트를 스태커의 선반으로 수납하거나 선반으로부터 출고시키기 위한 장비

제조 공정 내에서 높은 수준의 청결이 요구되는 경우에 적용
특히 카세트를 운반하는 랙마스터로 카세트를 보관하는 스토커의 선반으로 수납하거나 선반으로부터 출고시키기 위한 장비
Auto bake EQ’ Track motion

반도체 웨이퍼를 오븐에 투입, 배출하는 시스템

무급유 Roller Rack / Pinion을 사용하여 별도 급유 없이 분진에 강하도록 설계
고속 신호용 케이블 정선 자동화

반도체 검사설비에 쓰이는 고속신호용케이블의 내피, 쉴드, 외피를 레이져 컷팅, 탈피, 솔더링, 커팅기, 검사기를 인라인화 시킨 자동화

지그투입-비젼검사-레이져 자켓 컷팅-외피탈피-쉴드딥핑-쉴드컷팅-쉴드레이져컷팅-쉴드탈피-내피 레이져컷팅- 내피탈피-심선 딥핑-브러싱-비젼검사

사업분야

Semiconductor / Display