business field
증착기 상부에서 Cassette를 언로딩하여 증착기에 투입하는 유닛
OHS에 적재되어 오는 Cassette를 별도의 Forking system을 이용하여 언로딩
자체 개발한 분진방지용 Z축 볼스크류 로봇을 이용하여 증착기 내에 이물없이 이송하는 기술 보유
